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DAS 缺陷分析系统
缺陷分析系统
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通过多种BIN Map 分析功能追踪并管理良率相关的品质异常,根据分析Particle/SFQR/Nano Map,ESFQR Profile等多种Wafer Map 对主要品质因素进行效率分析,是提高生产效率及稳定产出的解决方案。

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